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“非常好！”杨子光兴奋地点头说道，“你们能在这方面跑到所有公司的前面对我们国家具有重大的战略价值🇼，你们必定要牢牢地占领这个技巧制高点，这🞯🗮🞽样我们国家才不会被国外洽商。”
随后杨子光也是视察了瑞🚛星科技公司，当杨子光见到瑞星科技公司正在测试实验的第三代高端1光刻机。
瑞星科技公司和燕京物化所联合研制的氟化氪激光光源往年已经变得成熟了，为瑞星🀙☶科🆗🏮🝝技公司供给了稳固可靠的光源。
同时瑞星科技公司💸也是根据杨杰的技巧方案开发出了掩模台、工件台地位丈量装置及丈量方法，并🞡🕨且申请了国家专🖔利。
这套装置采用了若干激光干涉仪代替电容传感💶🖒💂器，使程度向和垂直方向的传感器一致，摸索出了一套独占的算法，对丈量过程中引进对各🍻向丈量干涉仪的进行了权重分配，使得对掩模台地位🜤丈量更加准确。
瑞星科技公司通过数年的艰苦研发，总算是将工件台和掩膜台运动精度把持在了三纳米的程度，这一切是瑞星科技公司和机床研究院和数个研究所一🛗🜠🃤同攻关的成果，光是这么一个系统参与的技巧职员就达到了上千名。
三阳光学厂在应用了机床研究院超高精度的磨床🛼⚈🏚后和天马科技公司供给的研磨液后总算是将这些锅盖大小的镜头光学孔径数值提升到了1.33，已经接近了光学镜头的极限。
德国蔡司能把光学镜头的光学孔径数值已经能做到1.🍉🆍4，已经📮🞍💺逼近了1.49这个极限，三阳光学厂能做到这个地步已经是👦非常了不起了。
这些镜片是三阳光学厂一位有着几十年镜头研磨经验的老技师🄤⛍🙄在超高精度磨床和丈量仪器的💢📠配合下手工研磨出来的。⚔
固然这样的光学镜头产量少，生产🌒⚊时间很长，但是却是让三阳光学厂在光学镜头技巧上迈进了一流🞡🕨的光学器材厂商行⚔列。
而瑞星科技公司也是为这套光刻机研🜳🆊发了减震器，采用了内部封闭框架，将工作台与外部环境隔离，保持程度，减少外界振动干扰，并保持稳固的温度、压力。
为了达到这些请求，瑞星科技公司高低所🕈有职员都是削尖脑袋不停地想措施解决各种工程技巧上的困难，总算是🁃将双工🜐🁔件台的第一台氟化氪激光光源的沉浸式光刻机给制作了出来。
这也就意味着瑞星科技公司这套光刻机🗖🛪可以支撑的极限制程工艺在32纳米，假如在这个期💢📠间三阳光学厂能将镜头的光学孔径数值进步到极限，那么可以支撑制程工艺来到22纳米！
瑞星科技公司并📿♄没有向外界颁布这个消息，也是等着明🍉🆍年上半年推出的时候好好地震一下艾斯摩尔和佳能和尼康这些光刻机厂商的。
“你们还真是有什么宝贝都爱好躲着不让人看到呀！”杨子光感叹🐼🐼地说道。
“首长，我们公司内部有一套完整的测试实验流程和标准，我们不盼看推出往的光刻机产品是有缺点的，瑞星科技公司要保证每一😸台交到客户手上的设💟备都是非常可靠的。”
“你们在这套光刻机上面投进了多少的研发🄵用度？”杨子光问道。
“总共加起来在50多亿。”杨杰答复道。