第一台5纳米EUV光刻机运抵蜀都工厂后，随即就开始了安装调试工作，这个过🎓🐫程比较费时间，因为这不是拧几颗螺丝就安装好了的事情，而是需要让这台设备与车架里面的其它设备能够有机的结合起来，形成🞷😲🅗一个完🜶🆨💉整的流水线。
而🍘🈘⚌且这次他们所采用的也是吴浩他们的智能无人化工厂技术，正常生产制造流程完全的自动化，智能化，无人话，所以各种标准和要求更高。因此，这先期的调试工作自🖫然就非常重要了。
即便🅸是按照调试完成，也不可能立即投入生产，好要进行好几轮的试生产，⛭🝦并根据生产出来的产品进行改进。
尤其是产品的良品率，🎑🐚🀛这是至于芯片生产最大问题。所以想要提升良品率，这需要🎓🐫进行非常漫长的不断调试，最终使其能够达到一个理☌♨想水平。
除此🅸之外，与晶圆厂和芯片制造其它一系列配♂套产业也要协同发展，并且要能够跟得上光刻机的发展脚步。
因为芯片🐜生产不止是一台光刻机的问题，还涉及到了很多流程和工艺，而在这方面，我们国内也是有欠缺的。
吴浩他们在启动这🉐🆡👊个🃜😧🃱光刻机研制项目后，就开始了对于其它配套产业技术的扶持，并先后注资了好几家关键的配套设备企业。
这些企业在吴浩他们的扶持下，也相继有了成果。只不过相比于光刻机这边的巨大成👃功，他们的进步还有些不足。不过，就自身乃至国内相关行业来说🕔，这种进步肯定是巨大的。🕶
目前这些企业包🄇括其它的一些行业内的企业在国产光刻机研制成功事情的激励下，正在加紧努力，争取能够早日创造出好的成绩。